產(chǎn)品介紹
PRODUCTS
PECVDⅠ系統(tǒng)
所屬分類
PECVD
產(chǎn)品描述
參數(shù)
一、主要用途：
采用高頻感應(yīng)加熱方法制備各種薄膜、納米碳管。
二、技術(shù)指標(biāo)：
1、極限真空：7*10-5Pa；
2、φ100*590（mm）立式石英管結(jié)構(gòu)；
3、感應(yīng)加熱：射頻：50±30KHz：加熱2200℃/15分鐘，最高加熱2200℃；全固態(tài)高頻感應(yīng)電源，功率10～15千瓦；
4、氣路系統(tǒng)：3路質(zhì)量流量計(jì)控制，范圍：一路0～3升/分鐘，一路0～5升/分鐘，一路0～200sccm。
三、系統(tǒng)組成：
系統(tǒng)主要由真空抽氣及測量系統(tǒng)、測溫系統(tǒng)、石英加熱爐系統(tǒng)、感應(yīng)加熱系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電控及輔助系統(tǒng)等組成。
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上一個(gè)
GDP薄膜沉積系統(tǒng)
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